Necesito generar un archivo temporal único con una extensión .csv.

Lo que hago ahora es

string filename = System.IO.Path.GetTempFileName().Replace(".tmp", ".csv");

Sin embargo, esto no garantiza que mi archivo .csv sea único.

Sé que las posibilidades de que tenga una colisión son muy bajas (especialmente si considera que no elimino los archivos .tmp), pero este código no me parece bien.

Por supuesto, podría generar manualmente nombres de archivos aleatorios hasta que finalmente encuentre uno único (que no debería ser un problema), pero tengo curiosidad por saber si otros han encontrado una buena manera de lidiar con este problema.