Me gustaría saber si el uso de Atributos en .Net, específicamente C #, es caro, ¿por qué o por qué no?

Estoy preguntando por C # específicamente, a menos que no haya diferencia entre los diferentes lenguajes .Net (¿porque las bibliotecas de clase base son las mismas?).

Todas las tecnologías .Net más nuevas hacen un uso extensivo de los atributos, como Linq to SQL, ASP.Net MVC, WCF, Enterprise Library, etc., y me preguntaba qué efecto tendría esto en el rendimiento. Muchas de las clases se decoran automáticamente con ciertos Atributos, o estos atributos son necesarios para ciertas funcionalidades / características.

¿La cuestión del gasto depende de los detalles específicos de la implementación? ¿Cómo se compilan los atributos a IL? ¿Se almacenan en caché automáticamente o depende del implementador?