Expresión regular para hacer coincidir los argumentos del proceso

Tengo esta cadena:

Process.exe /Switch=Value /Switch="C:\Path with spaces\file.txt" wrong argument

Me gustaría capturar estas partes:

· 1st Match: Process.exe
· 2nd Match: /Switch=Value
· 3rd Match: /Switch="C:\Path with spaces\file.txt"
· 4th Match: wrong
· 5th Match: argument

La expresión regular debe ser para uso genérico (un proceso con argumentos reales), no solo para adaptarse a este caso.

Esto es lo que estoy intentando:

Dim DebugArguments As String =
    "HotkeyMaker.exe /Hotkey=Escape /run=""c:\folder with spaces\notepad.exe"""

For Each match As Match In Regex.Matches(DebugArguments, "([^\s]+[^""])")
    MsgBox(match.Value)
Next match

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