Como gerar nomes de arquivo exclusivos em c #

Eu implementei um algoritmo que irá gerar nomes exclusivos para arquivos que serão salvos no disco rígido. Estou anexandoDateTime: Horas, minutos, segundos e milissegundos mas ainda gera um nome duplicado de arquivos porque estou carregando vários arquivos por vez.

Qual é a melhor solução para gerar nomes exclusivos para os arquivos a serem armazenados no disco rígido, para que não haja dois arquivos iguais?

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